Промышленный инспекционный микроскоп Nexcope NX1000
Высокоточный промышленный инспекционный микроскоп Nexcope NX1000 для детального исследования и контроля качества материалов, компонентов и изделий в производственных процессах
- Производитель:
- 1
- Тип микроскопа:Прямой, инспекционный
- Диапазон увеличений:х50 - х2000
- Класс микроскопа:Исследовательский, промышленный
- Видеовывод изображения:C-mount
- Класс объективов:Полуапохроматический, апохроматические Infinity Plan S-APO/APO BF/DF
- Методы контрастирования:Светлое поле/Темное поле/поляризация/ДИК-метод/флуоресценция
- Методы исследования:В проходящем и отраженном свете
- Области применения:Микроэлектроника, полупроводниковое производство
- Освещение:Галогеновый источник 100W / LED (светодиодный)
Инспекционный микроскоп Nexcope NX1000 предназначен для исследования и промышленного контроля материалов и компонентов, используемых в микроэлектронной промышленности: полупроводников, кремниевых пластин, кристаллов, устройств хранения информации, ЖК-дисплеев, интегральных схем, MEMS (микроэлектромеханические схемы), светодиодов и пр.
В зависимости от комплектации, на микроскопах серии NX можно производить наблюдения по следующим методам контрастирования: светлое поле, темное поле, поляризованный свет, ДИК Номарского, флуоресценция.
Эргономичность устройств управления обеспечивает комфорт работы на протяжении долгого времени.
В промышленных инспекционных микроскопах Nexcope используется оптическая система на бесконечность, и объективы класса S-Apo обеспечивающие высокие оптические качества, такие как большое рабочее расстояние, улучшенный контраст и цветопередача, способность коррекции аберраций.
Продуманная эргономика. Удобен для промышленной инспекции образцов.
Отдельная рукоять быстрого перемещения
Микроскоп имеет режим быстрого и точного перемещения, при совместном использовании с ручкой точной регулировки предметного столика поможет быстро найти нужную область исследования на образцах большой площади.
Эргономичный тринокулярный тубус
Тринокулярный тубус Ergo с регулируемым углом наклона может сделать наблюдение в окуляры более комфортным, чтобы свести к минимуму мышечное напряжение и дискомфорт, вызванные долгими часами работы.
Удобное расположение органов управления
Механизмы управления, расположены на передней части микроскопа (рядом с оператором), что делает работу на микроскопе более быстрой и удобной при исследовании образца. И это может уменьшить усталость, вызванную длительным наблюдением, и количество поднимаемой микропыли, вызванную большим количеством движений.
Подходит для контроля кремниевых пластин, плоскопанельных дисплеев (FPD) и больших интегральных схем (LSI)
Моторизованная смена объектива
Микроскоп комплектуется моторизованной револьверной головкой на 6 объективов. На панели управления расположены кнопки смены объектива, увеличение можно легко изменить одним щелчком. Моторизация исключает необходимость проведения ручных манипуляций с револьвером над образцом, что значительно снижает уровень загрязнения образца, исключает смешение образца или фокуса при неосторожном переключении вручную.
Антистатический защитный экран
Промышленные образцы должны находиться вдали от плавающей пыли, а небольшое количество пыли может повлиять на качество продукции и результаты испытаний. NX1000 имеет специальный антистатический защитный экран большой площади, который может максимально защитить от плавающей и
падающей пыли, чтобы защитить образцы и сделать результат контроля более точным.
Увеличенное рабочее расстояние и объективы с высокой числовой апертурой
Все виды электронных компонентов и полупроводников на печатных платах имеют большую разницу в высоте. Поэтому в
данном микроскопе используются специальные объективы с высоким рабочим расстоянием. Чтобы удовлетворить высокие
требования промышленных образцов к цветопередаче, была разработана и улучшена с годами технология многослойного
покрытия и используются апохроматические объективы с высокой числовой апертурой, которые могут передать реальный цвет образцов.
Полупроводниковая пластина под микроскопом с различными методами контрастирования
Cветлое поле (в отраженном вертикальном свете)
Светлое поле – стандартная техника исследования образцов в отраженном свете. Изображение равномерное, яркое, с высокой степенью цветопередачи.
ДИК (дифференциальный интерференционный контраст)
ДИК - Такая техника исследования применяется для повышения детализации микрорельефа рассматриваемых микроструктур. С помощью микроскопа с ДИК возможна визуализация неровностей наблюдаемых объектов: минимальная разность по высоте, или ступень, отображаются в виде рельефа. Техника наблюдения может показать тонкую разницу в высоте, которую нельзя увидеть обычным способом наблюдения.
Темное поле (косо падающий свет)
Темное поле – позволяет получить черно-белое очень контрастное изображение. Яркость светлых пятен будет пропорциональна величине неровности (дефекта). Подходит для контроля поверхности образцов с высокими требованиями. Позволяет проводить высокочувствительный осмотр дефектов, таких как мелкие царапины. Что касается недостатков контроля в темном поле, то дефекты, расположенные в углублениях, не будут излучать свет, а дефекты на рельефе будут маскироваться отраженным от рельефа сигналом.
Используя технологию многослойного покрытия, объективы серии NIS45 могут компенсировать сферическую аберрацию и хроматическую аберрацию от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона. Резкость, разрешение и цветопередача изображений могут быть гарантированы. Можно получить изображение с высоким разрешением и плоским полем зрения для различных увеличений.
Infinity Plan S-APO/APO BF/DF Металлургические объективы.
Благодаря использованию тщательно подобранного стекла с высоким коэффициентом пропускания и передовой технологии покрытия обеспечивается точная цветопередача.
● 5x/0.15, W.D. 20mm, No Cover Glass, Semi-APO
● 10x/0.3, W.D. 11mm, No Cover Glass, Semi-APO
● 20x/0.45, W.D. 3mm, No Cover Glass, Semi-APO
● 50x/0.8, W.D. 1mm, No Cover Glass, APO
● 100x/0.9, W.D. 1mm, No Cover Glass, APO

.jpg)
Теги: Промышленный инспекционный микроскоп Nexcope NX1000

