Сканирующий электронный микроскоп СЭМ CIQTEK SEM5000Pro
Высокоточный сканирующий электронный микроскоп СЭМ CIQTEK SEM5000Pro для детального исследования поверхности и структуры материалов с возможностью получения изображений высокого разрешения на наноуровне
- Производитель:
- 1
CIQTEK SEM5000Pro — кратко о приборе
Полноразмерный полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп (FE-SEM) CIQTEK SEM5000Pro сочетает в себе высокую разрешающую способность и гибкость конфигураций для задач материаловедения, микро- и нанотехнологий и полупроводниковых исследований. Прибор сконструирован так, чтобы обеспечивать детальное визуальное исследование поверхности и подповерхностных слоёв при низких и высоких напряжениях, сохраняя стабильность луча и минимальное искажение изображения.
Почему выбирают SEM5000Pro (ключевые преимущества)
- Высокое разрешение и отличная контрастность даже при низком ускоряющем напряжении — позволяет визуализировать наноструктуры и тонкие детали поверхности.
- Полевая эмиссионная (Schottky) электронная пушка — высокий яркостный поток и узкая конусность пучка для предсказуемой, стабильной работы.
- Широкий диапазон ускоряющего напряжения — универсальность при работе с различных типов образцов (от нежных биоматериалов до твёрдых проводников).
- Разнообразие детекторов и опций (in-lens, SE, BSE и аналитические приставки) для комплексного анализа (изображение + элементный анализ).
- Удобная механическая эуцентрическая стадия с большим рабочим ходом и широким углом наклона/вращения — комфортная навигация по образцу и сбор многопозиционных данных.
Области применения
SEM5000Pro подходит для:
- материаловедения (металлы, керамика, полимеры),
- микро- и наноэлектроники (контроль структур, дефектов на чипах),
- исследований наноматериалов и покрытий,
- биоматериалов и медицинских исследований (при необходимости использования низкого напряжения),
- контроля качества и промышленной инспекции.
Комплекс возможностей (что умеет прибор)
- Высокоразрешающая полевая эмиссионная колонна с низкой аберрацией и технологией оптимизации пучка.
- Низковольтная контрастная съёмка без необходимости проводящего покрытия в ряде задач.
- Поддержка аналитических модулей (EDS/EDX для элементного анализа; возможность установки WDS, EBSD — по опции).
- Двойные камеры навигации: оптическая камера для быстрой ориентации и внутренняя камера наблюдения камеры образца.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель | CIQTEK SEM5000Pro (FE-SEM) |
| Тип электронной пушки | Schottky Field Emission (полевой эмиссионный источник) |
| Разрешающая способность (SE) | ~0.8 нм @ 15 kV; ~1.2 нм @ 1 kV |
| Ускоряющее напряжение | 0.02 kV – 30 kV |
| Увеличение (диапазон) | ≈ 1× — 2 500 000× |
| Детекторы (стандарт) | In-lens (Inl), SE детектор, BSE детектор, ETD / Everhart-Thornley (в зависимости от комплектации) |
| Аналитические опции | EDS (опция/интеграция), установка STEM/EBSD/WDS — опции |
| Стадия (тип) | Механическая, эуцентрическая, 5-оси (X, Y, Z, Tilt, Rotation) |
| Ходы стадии | X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм (типичное значение) |
| Наклон/вращение стадии | Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360° |
| Камеры | Две камеры: оптическая навигационная + камера наблюдения в камере образца |
| Макс. диаметр образца / загрузка | Поддержка стандартных держателей; опции — загрузочная шлюз-кассета для пластин/подложек (в зависимости от комплектации) |
| Портов камер | Множество портов для детекторов и аналитических модулей (общее число портов зависит от конфигурации) |
| Вакуумная система | Автоматизированная система вакуума с контролем и запуском; режимы «полн. вакуум» и «низковакуум» (в зависимости от модели/опций) |
| Интерфейс | Интуитивное ПО управления, встроенные средства навигации и сбора изображений/данных |
| Габариты (примерно) | ~1310 mm (Д) × 910 mm (Ш) × 1710 mm (В) — может варьироваться по конфигурации |
| Масса | ~950 kg (в зависимости от конфигурации) |
| Электропитание | Стандартно 1-фазное / 2-фазное — зависит от локальных требований и опций; требуется выделенное питание и заземление |
| Температурный режим работы | Рекомендуемая рабочая температура и влажность — согласно руководству по эксплуатации (воздействие вибраций/температуры влияет на разрешение) |
| Примечания/Опции | EDS/EDS-система, STEM-модуль, EBSD, WDS, нагрузочная кассета (wafer loadlock), анти-вибрационная опора, кондиционированная стойка — доступны как дополнительные опции |
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель | CIQTEK SEM5000Pro (FE-SEM) |
| Тип электронной пушки | Schottky Field Emission (полевой эмиссионный источник) |
| Разрешающая способность (SE) | ~0.8 нм @ 15 kV; ~1.2 нм @ 1 kV |
| Ускоряющее напряжение | 0.02 kV – 30 kV |
| Увеличение (диапазон) | ≈ 1× — 2 500 000× |
| Детекторы (стандарт) | In-lens (Inl), SE детектор, BSE детектор, ETD / Everhart-Thornley (в зависимости от комплектации) |
| Аналитические опции | EDS (опция/интеграция), установка STEM/EBSD/WDS — опции |
| Стадия (тип) | Механическая, эуцентрическая, 5-оси (X, Y, Z, Tilt, Rotation) |
| Ходы стадии | X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм (типичное значение) |
| Наклон/вращение стадии | Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360° |
| Камеры | Две камеры: оптическая навигационная + камера наблюдения в камере образца |
| Макс. диаметр образца / загрузка | Поддержка стандартных держателей; опции — загрузочная шлюз-кассета для пластин/подложек (в зависимости от комплектации) |
| Портов камер | Множество портов для детекторов и аналитических модулей (общее число портов зависит от конфигурации) |
| Вакуумная система | Автоматизированная система вакуума с контролем и запуском; режимы «полн. вакуум» и «низковакуум» (в зависимости от модели/опций) |
| Интерфейс | Интуитивное ПО управления, встроенные средства навигации и сбора изображений/данных |
| Габариты (примерно) | ~1310 mm (Д) × 910 mm (Ш) × 1710 mm (В) — может варьироваться по конфигурации |
| Масса | ~950 kg (в зависимости от конфигурации) |
| Электропитание | Стандартно 1-фазное / 2-фазное — зависит от локальных требований и опций; требуется выделенное питание и заземление |
| Температурный режим работы | Рекомендуемая рабочая температура и влажность — согласно руководству по эксплуатации (воздействие вибраций/температуры влияет на разрешение) |
| Примечания/Опции | EDS/EDS-система, STEM-модуль, EBSD, WDS, нагрузочная кассета (wafer loadlock), анти-вибрационная опора, кондиционированная стойка — доступны как дополнительные опции |