Сканирующий электронный микроскоп СЭМ CIQTEK SEM4000X

Высокотехнологичный сканирующий электронный микроскоп CIQTEK SEM4000X предназначен для получения изображений поверхности образцов с высоким разрешением путем сканирования электронным пучком

CIQTEK SEM4000X — это современный полупрофессиональный/научный FE-SEM (field-emission SEM), спроектированный для широкого круга задач: от фундаментальных исследований нанообъектов до промышленного анализа поверхности и дефект-диагностики. Модель сочетает в себе высокую разрешающую способность при низких ускоряющих напряжениях, расширенную систему детектирования и удобный программный интерфейс для автоматизированного сбора изображений и анализа.

Почему выбирают SEM4000X — ключевые преимущества

  • Высокое пространственное разрешение при низких напряжениях — важное преимущество при работе с чувствительными или неметаллическими образцами.
  • Многообразие детекторов (in-lens, E-T, BSE, опционально STEM, EDS, EBSD) обеспечивает гибкость анализа: контраст по топографии, составу и кристаллографии.
  • Продвинутая автоматика и навигация: автоподстройка яркости/контраста, автофокус и автостигматизация, оптическая навигация и камеры для мониторинга камеры образца — ускоряют работу и сокращают погрешности оператора.
  • Возможность работы в режиме низкого вакуума (опция) и режим «ultra beam deceleration» для дальнейшего улучшения качества изображений при малых энергиях электронов.

Основные рабочие возможности и опции

SEM4000X рассчитан на аналитические эксперименты: кроме отражённых и вторичных электронов, аппарат поддерживает подключение энергодисперсионного спектрометра (EDS) для элементного анализа, EBSD-камера для картирования кристаллитной ориентации и STEM-детектор для тонких образцов (опция). Система позволяет гибко настраивать ток зонда и ускоряющее напряжение, что важно для балансирования разрешения, контраста и минимизации лучевого воздействия на чувствительные материалы.

Области применения

Материаловедение, полупроводниковая и нанотехнологическая разработка, анализ поверхности и покрытий, исследование биоморфных структур, анализ дефектов сварных швов и микроструктуры сплавов — SEM4000X подходит для всех перечисленных задач благодаря универсальной конфигурации детекторов и высокому разрешению.

Надёжность, поддержка и подготовка к работе

Производитель заявляет о промышленной сборке колонки и модульной архитектуре, что упрощает сервис и модернизацию (например, добавление опций STEM/EBSD/EDS). Для ввода в эксплуатацию потребуется подготовленная лабораторная площадка с сетевым питанием и системой отвода газов/вакуумным оборудованием в соответствии с требованиями поставки. Рекомендуется согласовать детали установки и гарантийного обслуживания с официальным представителем CIQTEK.

Технические характеристики CIQTEK SEM4000X

Параметр Значение
Тип микроскопа Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
Электронный источник (gun) Schottky field emission electron gun
Разрешение (SE) 0.9 нм @ 30 kV; 1.0 нм @ 15 kV; 1.8 нм @ 1 kV (с режимом Ultra beam deceleration — до 0.8–1.5 нм в зависимости от режима)
Диапазон ускоряющего напряжения 0.2 kV – 30 kV
Увеличение (прибл.) 1 × — 1 000 000 ×
Детекторы (стандарт/опции) Стандарт: In-lens (UD-SE/UD-BSE), Everhart-Thornley (LD); Опции: BSED, STEM (ретрактируемый), Low Vacuum Detector (LVD), EDS (EDX), EBSD
Диапазон движения столика (X / Y / Z) X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм
Наклон / поворот столика Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360°
Камеры / навигация Двойная камера: оптическая навигация + мониторинг камеры образца
Режим низкого вакуума Опция (поддерживается низкое давление; в документации указаны значения до ~180 Pa для семейства SEM4000)
Программное обеспечение / интерфейс Windows-основанное ПО; опции: модули анализа (Particle & Pore, Auto Measure, AutoMap), SDK для автоматизации
Автоматические функции Auto brightness/contrast, Auto focus, Auto stigmator, автоматическая выверка
Опции обменной камеры / загрузчика Specimen exchange loadlock (поддержка 4" / 8" подложек — опция)
Производитель CIQTEK Co., Ltd. (Hefei, China)
Параметр Значение
Тип микроскопа Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
Электронный источник (gun) Schottky field emission electron gun
Разрешение (SE) 0.9 нм @ 30 kV; 1.0 нм @ 15 kV; 1.8 нм @ 1 kV (с режимом Ultra beam deceleration — до 0.8–1.5 нм в зависимости от режима)
Диапазон ускоряющего напряжения 0.2 kV – 30 kV
Увеличение (прибл.) 1 × — 1 000 000 ×
Детекторы (стандарт/опции) Стандарт: In-lens (UD-SE/UD-BSE), Everhart-Thornley (LD); Опции: BSED, STEM (ретрактируемый), Low Vacuum Detector (LVD), EDS (EDX), EBSD
Диапазон движения столика (X / Y / Z) X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм
Наклон / поворот столика Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360°
Камеры / навигация Двойная камера: оптическая навигация + мониторинг камеры образца
Режим низкого вакуума Опция (поддерживается низкое давление; в документации указаны значения до ~180 Pa для семейства SEM4000)
Программное обеспечение / интерфейс Windows-основанное ПО; опции: модули анализа (Particle & Pore, Auto Measure, AutoMap), SDK для автоматизации
Автоматические функции Auto brightness/contrast, Auto focus, Auto stigmator, автоматическая выверка
Опции обменной камеры / загрузчика Specimen exchange loadlock (поддержка 4" / 8" подложек — опция)
Производитель CIQTEK Co., Ltd. (Hefei, China)