Сканирующий электронный микроскоп СЭМ CIQTEK SEM4000X
Высокотехнологичный сканирующий электронный микроскоп CIQTEK SEM4000X предназначен для получения изображений поверхности образцов с высоким разрешением путем сканирования электронным пучком
- Производитель:
- 1
CIQTEK SEM4000X — это современный полупрофессиональный/научный FE-SEM (field-emission SEM), спроектированный для широкого круга задач: от фундаментальных исследований нанообъектов до промышленного анализа поверхности и дефект-диагностики. Модель сочетает в себе высокую разрешающую способность при низких ускоряющих напряжениях, расширенную систему детектирования и удобный программный интерфейс для автоматизированного сбора изображений и анализа.
Почему выбирают SEM4000X — ключевые преимущества
- Высокое пространственное разрешение при низких напряжениях — важное преимущество при работе с чувствительными или неметаллическими образцами.
- Многообразие детекторов (in-lens, E-T, BSE, опционально STEM, EDS, EBSD) обеспечивает гибкость анализа: контраст по топографии, составу и кристаллографии.
- Продвинутая автоматика и навигация: автоподстройка яркости/контраста, автофокус и автостигматизация, оптическая навигация и камеры для мониторинга камеры образца — ускоряют работу и сокращают погрешности оператора.
- Возможность работы в режиме низкого вакуума (опция) и режим «ultra beam deceleration» для дальнейшего улучшения качества изображений при малых энергиях электронов.
Основные рабочие возможности и опции
SEM4000X рассчитан на аналитические эксперименты: кроме отражённых и вторичных электронов, аппарат поддерживает подключение энергодисперсионного спектрометра (EDS) для элементного анализа, EBSD-камера для картирования кристаллитной ориентации и STEM-детектор для тонких образцов (опция). Система позволяет гибко настраивать ток зонда и ускоряющее напряжение, что важно для балансирования разрешения, контраста и минимизации лучевого воздействия на чувствительные материалы.
Области применения
Материаловедение, полупроводниковая и нанотехнологическая разработка, анализ поверхности и покрытий, исследование биоморфных структур, анализ дефектов сварных швов и микроструктуры сплавов — SEM4000X подходит для всех перечисленных задач благодаря универсальной конфигурации детекторов и высокому разрешению.
Надёжность, поддержка и подготовка к работе
Производитель заявляет о промышленной сборке колонки и модульной архитектуре, что упрощает сервис и модернизацию (например, добавление опций STEM/EBSD/EDS). Для ввода в эксплуатацию потребуется подготовленная лабораторная площадка с сетевым питанием и системой отвода газов/вакуумным оборудованием в соответствии с требованиями поставки. Рекомендуется согласовать детали установки и гарантийного обслуживания с официальным представителем CIQTEK.
Технические характеристики CIQTEK SEM4000X
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип микроскопа | Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) |
| Электронный источник (gun) | Schottky field emission electron gun |
| Разрешение (SE) | 0.9 нм @ 30 kV; 1.0 нм @ 15 kV; 1.8 нм @ 1 kV (с режимом Ultra beam deceleration — до 0.8–1.5 нм в зависимости от режима) |
| Диапазон ускоряющего напряжения | 0.2 kV – 30 kV |
| Увеличение (прибл.) | 1 × — 1 000 000 × |
| Детекторы (стандарт/опции) | Стандарт: In-lens (UD-SE/UD-BSE), Everhart-Thornley (LD); Опции: BSED, STEM (ретрактируемый), Low Vacuum Detector (LVD), EDS (EDX), EBSD |
| Диапазон движения столика (X / Y / Z) | X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм |
| Наклон / поворот столика | Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360° |
| Камеры / навигация | Двойная камера: оптическая навигация + мониторинг камеры образца |
| Режим низкого вакуума | Опция (поддерживается низкое давление; в документации указаны значения до ~180 Pa для семейства SEM4000) |
| Программное обеспечение / интерфейс | Windows-основанное ПО; опции: модули анализа (Particle & Pore, Auto Measure, AutoMap), SDK для автоматизации |
| Автоматические функции | Auto brightness/contrast, Auto focus, Auto stigmator, автоматическая выверка |
| Опции обменной камеры / загрузчика | Specimen exchange loadlock (поддержка 4" / 8" подложек — опция) |
| Производитель | CIQTEK Co., Ltd. (Hefei, China) |
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип микроскопа | Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) |
| Электронный источник (gun) | Schottky field emission electron gun |
| Разрешение (SE) | 0.9 нм @ 30 kV; 1.0 нм @ 15 kV; 1.8 нм @ 1 kV (с режимом Ultra beam deceleration — до 0.8–1.5 нм в зависимости от режима) |
| Диапазон ускоряющего напряжения | 0.2 kV – 30 kV |
| Увеличение (прибл.) | 1 × — 1 000 000 × |
| Детекторы (стандарт/опции) | Стандарт: In-lens (UD-SE/UD-BSE), Everhart-Thornley (LD); Опции: BSED, STEM (ретрактируемый), Low Vacuum Detector (LVD), EDS (EDX), EBSD |
| Диапазон движения столика (X / Y / Z) | X: 110 мм; Y: 110 мм; Z: 65 мм |
| Наклон / поворот столика | Tilt: −10° … +70°; Rotation: 360° |
| Камеры / навигация | Двойная камера: оптическая навигация + мониторинг камеры образца |
| Режим низкого вакуума | Опция (поддерживается низкое давление; в документации указаны значения до ~180 Pa для семейства SEM4000) |
| Программное обеспечение / интерфейс | Windows-основанное ПО; опции: модули анализа (Particle & Pore, Auto Measure, AutoMap), SDK для автоматизации |
| Автоматические функции | Auto brightness/contrast, Auto focus, Auto stigmator, автоматическая выверка |
| Опции обменной камеры / загрузчика | Specimen exchange loadlock (поддержка 4" / 8" подложек — опция) |
| Производитель | CIQTEK Co., Ltd. (Hefei, China) |

