Сканирующий электронный микроскоп Metrion EasyScan

Простота и удобство работы с METRION EasyScan

Сканирующий электронный микроскоп METRION EasyScan создан для максимально удобного использования. Управление интуитивное — все операции выполняются с помощью обычной компьютерной мыши, а освоение работы занимает всего около 20 минут.



Ключевые преимущества:

  • Интуитивное управление — перемещение по образцу и работа выполняются простым кликом.
  • Полностью моторизованный столик — все оси управляются автоматически, что обеспечивает высокую точность позиционирования.
  • SE/BSE и их совмещение — получение комбинированных изображений для более детального анализа.
  • Автоматический съём изображений — настройка параметров и сохранение снимков высокого разрешения.
  • Запоминание координат — хранение до 100 точек анализа с возможностью быстрого возврата.
  • Режим карты (навигации) — визуализация держателей образцов для определения их расположения.
  • Управление как у видеокамеры — простое переключение «запуск/остановка».
  • Оптическое изображение поверх СЭМ — дополнительная опция наложения оптики.
  • Встроенные инструменты обработки — измерения длины, углов, площади, аннотирование.
  • Удалённый доступ — поддержка дистанционной диагностики и работы через TeamViewer.
  • Простое крепление образцов — фиксация в одну из трёх позиций без дополнительных приспособлений.

Установка для ионного напыления покрытий

Компактная установка обеспечивает быстрое нанесение тонких слоёв золота (Au) или платины (Pt) на образцы. Это улучшает проводимость, контрастность и качество изображений при работе с электронными микроскопами. Технология позволяет равномерно формировать металлическую плёнку, предотвращая зарядку образца.

Преимущества:

  • Компактное исполнение, удобное для любых лабораторий.
  • Равномерное покрытие за счёт микроволнового распыления.
  • Сенсорное управление и простая настройка.
  • Возможность выбора материала покрытия (Au или Pt).
  • Быстрая подготовка: вакуумирование занимает менее 2 минут.
  • Гибкая настройка времени распыления: от 1 до 600 секунд.

Технические характеристики ионного напылителя:

  • Вакуум: < 2 Па
  • Время вакуумирования: < 2 мин.
  • Материал мишени: золото (Au) или платина (Pt)
  • Размер камеры: Ø120 мм × 110 мм (высота)
  • Предметный стол: Ø50 мм
  • Размер мишени: Ø50 мм
  • Диапазон времени напыления: 1–600 сек (шаг 1 сек)
  • Производительность вакуумного насоса: ~4 м³/ч


Области применения:

  • Подготовка образцов для СЭМ.
  • Повышение проводимости непроводящих материалов.
  • Формирование тонких слоёв для исследований в материаловедении, электронике, нанотехнологиях.

Детектор обратно рассеянных электронов

Идёт в стандартной комплектации. Система оснащена усовершенствованной технологией регистрации сигнала, что обеспечивает низкий уровень шума и отличную контрастность. Благодаря этому пользователь получает максимально чёткие и детализированные изображения.

Режимы работы:

  • SE (Secondary Electrons) — отображение микрорельефа поверхности.
  • BSE (Backscattered Electrons) — контраст по химическому составу.
  • COMPO, TOPO1, TOPO2 — дополнительные режимы визуализации.

Каждый канал может быть настроен как положительный (+) или отрицательный (-), что даёт до 2⁴ комбинаций изображений BSE, значительно расширяя возможности анализа.

Высокоточный охлаждающий столик IGLOO-I

Оборудование предназначено для замораживания образцов до -25°C и последующего анализа при низком вакууме. На одном и том же столике можно размещать как замороженные, так и стандартные образцы. Конструкция запатентована (США, заявка №16/287,770).

Преимущества:

  • Простая установка и компактность.
  • Экономия рабочего пространства.
  • Универсальное применение для различных типов образцов.
  • Быстрое охлаждение — 30°/мин.

Технические характеристики:

  • Размеры: 30×20×23 см
  • Диапазон температур: от -25°C до +20°C
  • Скорость охлаждения: 30°/мин








Характеристики прибора
Система визуализации
Увеличение 5 нм при 30 кВ (SE), 10 нм при 30 кВ (BSE)
Электронная пушка Вольфрамовая (W) нить
Детектор Стандартный детектор вторичных электронов (SE), детектор обратно рассеянных электронов (BSE)
Диапазон увеличения 10× до 200 000×
Ускоряющее напряжение 1–30 кВ
Камера для образцов
Рабочее расстояние 5–40 мм
Этап X,Y: 40 мм, Z: 5–40 мм, T: −90–90° (ручной), R: 360°; X, Y, Z моторизованный
Максимальный размер выборки 80 мм (Д) × 40 мм (В)
Навигация Оптическое реальное изображение
Вакуумная система
Время Вакуум: <90 сек, Вентиляция: <10 сек
Вакуумный режим Режим высокого вакуума (< 9×10−3 Па) / Режим низкого вакуума
Насос Система электрических клапанов (компрессор не требуется). Полностью автоматизированная система эвакуации. Турбомолекулярный насос и роторно-пластинчатый насос.
Система управления
Время вакуума и вентиляции Вакуум: <90 сек, Вентиляция: <10 сек
Рабочая станция
Режим отображения Режим фокусировки: 320 × 240 пикселей; режим предварительного просмотра: 800 × 600 пикселей; медленный режим: для предварительного просмотра и фокусировки; режим фото: до 3200 × 2400
Форматы изображения JPEG, TIFF, BMP, PNG
Система вибрации сцены Необязательный
Камера камерная Необязательный
ЭЛП Необязательный