Cканирующий электронный микроскоп (СЭМ) KYKY EM6900

Высокоточный сканирующий электронный микроскоп KYKY EM6900 предназначен для детального исследования поверхности и структуры материалов с возможностью получения трехмерных изображений с нанометровым разрешением

KYKY EM 6900 – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.

KYKY ЕМ6900 – это оптимальное решение для проведения СЭМ исследований металлов, керамики, полупроводников, полимеров, а также множество других образцов. Электронный микроскоп KYKY EM6900 оснащен вольфрамовым нитевым катодом, большим столиком образцов для возможности работы с габаритными материалами, а также обладает широкими возможностями модернизации.

Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM6900 имеет высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons) с встроенной системой защиты, а также детектор обратно отраженных электронов (BSE) четырехсегментного типа для лучшего картирования образца. Управление электронным микроскопом KYKY EM6900 осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО. Встроенный в ПО модуль обработки изображений позволяет не только производить анализ поверхности и свойств образца, но также позволяет проводить гранулярные исследования, анализировать шероховатость образца и множество других параметров.


  • Ключевые особенности СЭМ KYKY ЕМ6900:

    Электронная пушка с катодом Шоттки
    Моторизация всех осей предметного столика
    Возможность проведения элементного микроанализа (EDS). Опциональные детекторы
    Возможность анализа образцов при низком ускоряющем напряжении без артефактов и пробоподготовки

Высокое разрешение сканирования

KYKY EM6900 оснащен электронной пушкой с эмиссией Шоттки и высококачественными детекторами, позволяющими получать изображения образцов в высоком разрешении: до 1 нм в режиме вторичных электронов SE и до 2.5 нм в режиме детектора обратно отраженных электронов при ускоряющем напряжении 30 кВ.

Тип катода, электронная оптика и система сканирования

– Разрешение: 3 нм при 30 кВ (SE); 6 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 8х ~ 300 000х (фактическое), 16х ~ 600 000х (экранное).
– Система линз: трехступенчатая высокоточная система электромагнитных линз.
– Вольфрамовый предцентрованный термоэмиссионный катод.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (от 0 до 10 кВ шаг 100 В, 10 кВ – 30 кВ шаг 1 кВ)

Программное обеспечение СЭМ KYKY

Автоматические функции софта: фокусировка, яркость/контрастность, коррекция аббераций, центрирование электронного луча, подача высокого напряжения, коррекция электронной пушки, обнаружение ошибок, опциональное 3D-сканирование и т. д.

Серия ЕМ6000 поддерживает три синхронных окна, два канала (SE+BSE) с окном ПЗС.

Обработка изображений: Гранулярный анализ, цветовая сегментация, цветовая коррекция, анализ поверхности, выделение краев.

Разрешение изображения серии ЕМ6X составляет 4096 х 4096 пикселей. Формат доступных изображений: ВМР, GIF, TIFF, JPG, MNG, ICO CUR, TGA, РСХ, JP2, JPC, PGX, RAS, PNM, SKA, SEM.

Технические характеристики термоэмиссионного СЭМ с вольфрамовым катодом

KYKY EM6900 

Разрешение

3нм@30кВ (SE) / 6нм@30кВ (BSE)

Увеличение

Инвертированное увеличение: 8x – 300 000x 

Экранное увеличение: 16x – 600 000x

Тип

с вольфрамовым катодом

Ток пучка

10pA~0.1µA

Ускоряющее напряжение

0.2 – 30 кВ

Оптика

Электромагнитная линза в сборе (конический тип)

Диафрагма объектива

Молибденовое (с возможностью регулировки)

Вакуумная система

Турбомолекулярный, ротационный насос

Детектор

Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора). Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE)

Столик

Пятиосевой

Диапазон перемещений

X (авто)

0 – 70 мм

Y (авто)

0 – 50 мм

Z (авто)

0 – 45 мм

R (авто)

360 градусов

T (ручной)

-5 – +90 градусов

Макс. размер образца

175 мм

Опции

CCD, LAB, X-Ray Detector (EDS) , EBSD, CL, WDS, установка напыления и др.

Модификации

Апгрейд столика, EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+системы напыления, SEM+лазер.

Электронные микроскопы - сканирующие и просвечивающие принцип работы, пробоподготовка
Электронные микроскопы - сканирующие и просвечивающие принцип работы, пробоподготовка
Электронный микроскоп: типы, принципы работы и применениеЭлектронный микроскоп (ЭМ) — прибор, позволяющий получать сильно увеличенные изображения объектов с помощью пучка электронов вместо света. Такой подход обеспечивает чрезвычайно короткую дли..
Сравнение сканирующего (РЭМ, СЭМ) и просвечивающего (ПЭМ) электронных микроскопов.
Сравнение сканирующего (РЭМ, СЭМ) и просвечивающего (ПЭМ) электронных микроскопов.
Сравнение электронных микроскопов СЭМ/РЭМ и ПЭМ) (SEM и TEM) Характеристика SEM(СЭМ / РЭМ — сканирующий, растровый) TEM(ПЭМ — просвечивающий) Полное название ..