Cканирующий электронный микроскоп (СЭМ) KYKY EM6900
Высокоточный сканирующий электронный микроскоп KYKY EM6900 предназначен для детального исследования поверхности и структуры материалов с возможностью получения трехмерных изображений с нанометровым разрешением
- Производитель:
- 1
KYKY EM 6900 – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.
KYKY ЕМ6900 – это оптимальное решение для проведения СЭМ исследований металлов, керамики, полупроводников, полимеров, а также множество других образцов. Электронный микроскоп KYKY EM6900 оснащен вольфрамовым нитевым катодом, большим столиком образцов для возможности работы с габаритными материалами, а также обладает широкими возможностями модернизации.
Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM6900 имеет высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons) с встроенной системой защиты, а также детектор обратно отраженных электронов (BSE) четырехсегментного типа для лучшего картирования образца. Управление электронным микроскопом KYKY EM6900 осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО. Встроенный в ПО модуль обработки изображений позволяет не только производить анализ поверхности и свойств образца, но также позволяет проводить гранулярные исследования, анализировать шероховатость образца и множество других параметров.
- Ключевые особенности СЭМ KYKY ЕМ6900:
Электронная пушка с катодом Шоттки
Моторизация всех осей предметного столика
Возможность проведения элементного микроанализа (EDS). Опциональные детекторы
Возможность анализа образцов при низком ускоряющем напряжении без артефактов и пробоподготовки
Высокое разрешение сканирования
KYKY EM6900 оснащен электронной пушкой с эмиссией Шоттки и высококачественными детекторами, позволяющими получать изображения образцов в высоком разрешении: до 1 нм в режиме вторичных электронов SE и до 2.5 нм в режиме детектора обратно отраженных электронов при ускоряющем напряжении 30 кВ.
Тип катода, электронная оптика и система сканирования
– Разрешение: 3 нм при 30 кВ (SE); 6 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 8х ~ 300 000х (фактическое), 16х ~ 600 000х (экранное).
– Система линз: трехступенчатая высокоточная система электромагнитных линз.
– Вольфрамовый предцентрованный термоэмиссионный катод.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (от 0 до 10 кВ шаг 100 В, 10 кВ – 30 кВ шаг 1 кВ)
Программное обеспечение СЭМ KYKY
Автоматические функции софта: фокусировка, яркость/контрастность, коррекция аббераций, центрирование электронного луча, подача высокого напряжения, коррекция электронной пушки, обнаружение ошибок, опциональное 3D-сканирование и т. д.
Серия ЕМ6000 поддерживает три синхронных окна, два канала (SE+BSE) с окном ПЗС.
Обработка изображений: Гранулярный анализ, цветовая сегментация, цветовая коррекция, анализ поверхности, выделение краев.
Разрешение изображения серии ЕМ6X составляет 4096 х 4096 пикселей. Формат доступных изображений: ВМР, GIF, TIFF, JPG, MNG, ICO CUR, TGA, РСХ, JP2, JPC, PGX, RAS, PNM, SKA, SEM.
|
Технические характеристики термоэмиссионного СЭМ с вольфрамовым катодом KYKY EM6900 |
||
|
Разрешение |
3нм@30кВ (SE) / 6нм@30кВ (BSE) |
|
|
Увеличение |
Инвертированное увеличение: 8x – 300 000x Экранное увеличение: 16x – 600 000x |
|
|
Тип |
с вольфрамовым катодом |
|
|
Ток пучка |
10pA~0.1µA |
|
|
Ускоряющее напряжение |
0.2 – 30 кВ |
|
|
Оптика |
Электромагнитная линза в сборе (конический тип) |
|
|
Диафрагма объектива |
Молибденовое (с возможностью регулировки) |
|
|
Вакуумная система |
Турбомолекулярный, ротационный насос |
|
|
Детектор |
Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора). Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE) |
|
|
Столик |
Пятиосевой |
|
|
Диапазон перемещений |
X (авто) |
0 – 70 мм |
|
Y (авто) |
0 – 50 мм |
|
|
Z (авто) |
0 – 45 мм |
|
|
R (авто) |
360 градусов |
|
|
T (ручной) |
-5 – +90 градусов |
|
|
Макс. размер образца |
175 мм |
|
|
Опции |
CCD, LAB, X-Ray Detector (EDS) , EBSD, CL, WDS, установка напыления и др. |
|
|
Модификации |
Апгрейд столика, EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+системы напыления, SEM+лазер. |
|

