Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) KYKY ЕМ8100
- Производитель:
- 1
KYKY EM 8100 – сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии (СЭМ) с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения высокого разрешения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.
KYKY ЕМ8100 – это последнее поколение высокоразрешающих сканирующих электронных микроскопов автоэмиссионного типа. EM8100 позволяет проводить СЭМ исследования множества образцов, включая металлы, керамику, полупроводники, полимеры и многое другое. Особенностью электронного микроскопа KYKY EM8100 является наличие электронной пушки с катодом типа Шоттки, большеразмерной камеры для возможности работы с габаритными образцами, а также полностью автоматизированного предметного пятиосевого столика.
Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM8100 имеет высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons) с встроенной системой защиты, аа также детектор обратно отраженных электронов (BSE) четырехсегментного типа для лучшего картирования образца. Управление СЭМ KYKY EM8100 осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО. Встроенный в ПО модуль обработки изображений позволяет не только производить анализ поверхности и свойств образца, но также позволяет проводить гранулярные исследования, анализировать шероховатость образца и множество других параметров.
Ключевые особенности СЭМ KYKY ЕМ8100:
- Электронная пушка с катодом Шоттки,
- Высокая яркость, хорошая монохромность, минимальное пятно луча, долгий срок службы.
- Возможность ускорения и замедления пучка электронов.
- Стабильный электронный пучок, высокий КПД.
- Наблюдение непроводящих образцов при низком напряжении без артефактов.
- Простой, удобный и дружественный интерфейс управления.
- Большой пятиосевой моторизованный столик.
Высокое разрешение сканирования
KYKY EM8100 оснащен электронной пушкой с эмиссией Шоттки и высококачественными детекторами, позволяющими получать изображения образцов в высоком разрешении: до 1 нм в режиме вторичных электронов SE и до 2.5 нм в режиме детектора обратно отраженных электронов при ускоряющем напряжении 30 кВ.
Тип катода, электронная оптика и система сканирования
– Разрешение 1 нм при 30 кВ (SE); 3 нм при 1 кВ (SE); 2.5 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 6х ~ 1 000 000х
– Система линз: многоуровневая коническая система высокоточных линз.
Фронтальная линза со снижением аберраций;
– Апертуры: три апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны;
– Автоэмиссионный катод Шоттки.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (непрерывно подстраиваемое)
Программное обеспечение СЭМ KYKY
Автоматические функции софта: фокусировка, яркость/контрастность, коррекция аббераций, центрирование электронного луча, подача высокого напряжения, коррекция электронной пушки, обнаружение ошибок, опциональное 3D-сканирование и т. д.
Серия ЕМ8000 поддерживает пять синхронных окон, четыре канала (SE+BSE) с окном ПЗС.
Обработка изображений: Гранулярный анализ, цветовая сегментация, цветовая коррекция, анализ поверхности, выделение краев.
Разрешение изображения серии ЕМ8X составляет 16384 х 16384 пикселей. Формат доступных изображений: ВМР, GIF, TIFF, JPG, MNG, ICO CUR, TGA, РСХ, JP2, JPC, PGX, RAS, PNM, SKA, SEM.
Технические характеристики СЭМ с полевой эмиссией KYKY ЕМ8100 |
||
Разрешение |
1нм@З0кВ ( SE) / 3нм@1кВ(SE) / 2.5нм@30кВ (BSE) |
|
Увеличение |
6x – 1 000 000X |
|
Тип |
Электронная пушка с катодом Шоттки |
|
Ток пучка |
10pA~0.3µA |
|
Ускоряющее напряжение |
0.2 – 30 кВ |
|
Вакуумная система |
Ионный, турбомолекулярный, ротационный насос, геттерный насос |
|
Детектор |
Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора). Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE) |
|
Столик |
Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик |
|
Диапазон перемещений |
X (авто) |
0 – 150 мм |
Y (авто) |
0 – 150 мм |
|
Z (авто) |
0 – 60 мм |
|
R (авто) |
360 градусов |
|
T (авто) |
–5 – +75 градусов |
|
Макс. размер образца |
340 мм |
|
Опции |
CCD, X-Ray Detector (EDS) , EBSD, CL, WDS, установка напыления и др. |
|
Модификации |
EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др. |