Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) KYKY ЕМ8100

Цену уточняйте

KYKY EM 8100 – сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии (СЭМ) с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения высокого разрешения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.

KYKY ЕМ8100 – это последнее поколение высокоразрешающих сканирующих электронных микроскопов автоэмиссионного типа. EM8100 позволяет проводить СЭМ исследования множества образцов, включая металлы, керамику, полупроводники, полимеры и многое другое. Особенностью электронного микроскопа KYKY EM8100 является наличие электронной пушки с катодом типа Шоттки, большеразмерной камеры для возможности работы с габаритными образцами, а также полностью автоматизированного предметного пятиосевого столика.

Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM8100 имеет высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons) с встроенной системой защиты, аа также детектор обратно отраженных электронов (BSE) четырехсегментного типа для лучшего картирования образца. Управление СЭМ KYKY EM8100 осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО. Встроенный в ПО модуль обработки изображений позволяет не только производить анализ поверхности и свойств образца, но также позволяет проводить гранулярные исследования, анализировать шероховатость образца и множество других параметров.

Ключевые особенности СЭМ KYKY ЕМ8100:

  • Электронная пушка с катодом Шоттки,
  • Высокая яркость, хорошая монохромность, минимальное пятно луча, долгий срок службы.
  • Возможность ускорения и замедления пучка электронов.
  • Стабильный электронный пучок, высокий КПД.
  • Наблюдение непроводящих образцов при низком напряжении без артефактов.
  • Простой, удобный и дружественный интерфейс управления.
  • Большой пятиосевой моторизованный столик.

Высокое разрешение сканирования

KYKY EM8100 оснащен электронной пушкой с эмиссией Шоттки и высококачественными детекторами, позволяющими получать изображения образцов в высоком разрешении: до 1 нм в режиме вторичных электронов SE и до 2.5 нм в режиме детектора обратно отраженных электронов при ускоряющем напряжении 30 кВ.

Тип катода, электронная оптика и система сканирования

– Разрешение 1 нм при 30 кВ (SE); 3 нм при 1 кВ (SE); 2.5 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 6х ~ 1 000 000х
– Система линз: многоуровневая коническая система высокоточных линз.
Фронтальная линза со снижением аберраций;
– Апертуры: три апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны;
– Автоэмиссионный катод Шоттки.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (непрерывно подстраиваемое)

Программное обеспечение СЭМ KYKY

Автоматические функции софта: фокусировка, яркость/контрастность, коррекция аббераций, центрирование электронного луча, подача высокого напряжения, коррекция электронной пушки, обнаружение ошибок, опциональное 3D-сканирование и т. д.

Серия ЕМ8000 поддерживает пять синхронных окон, четыре канала (SE+BSE) с окном ПЗС.

Обработка изображений: Гранулярный анализ, цветовая сегментация, цветовая коррекция, анализ поверхности, выделение краев.

Разрешение изображения серии ЕМ8X составляет 16384 х 16384 пикселей. Формат доступных изображений: ВМР, GIF, TIFF, JPG, MNG, ICO CUR, TGA, РСХ, JP2, JPC, PGX, RAS, PNM, SKA, SEM.

Технические характеристики СЭМ с полевой эмиссией

KYKY ЕМ8100 

Разрешение

1нм@З0кВ ( SE) / 3нм@1кВ(SE) / 2.5нм@30кВ (BSE)

Увеличение

6x – 1 000 000X

Тип

Электронная пушка с катодом Шоттки

Ток пучка

10pA~0.3µA

Ускоряющее напряжение

0.2 – 30 кВ

Вакуумная система

Ионный, турбомолекулярный, ротационный насос, геттерный насос

Детектор

Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора). Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE)

Столик

Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик

Диапазон перемещений

X (авто)

0 – 150 мм

Y (авто)

0 – 150 мм

Z (авто)

0 – 60 мм

R (авто)

360 градусов

T (авто)

5 – +75 градусов

Макс. размер образца

340 мм

Опции

CCD, X-Ray Detector (EDS) , EBSD, CL, WDS, установка напыления и др.

Модификации

EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+система напыления, SEM+лазер и др.